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Park NX20
一般科学研究和工业研究人员像FA工程师等都希望取得精确的成果,仪器绝对不能出错。这就是为什么Park NX20作为世界上最精确的大样本原子力显微镜受到世界各地的研究人员和FA专业人士的高度评价。
Park NX20

特点:

介质和基底的表面粗糙度测量

缺陷成像和分析

高分辨率电子扫描模式

3D结构边墙测量

精确的原子力显微镜形貌和低噪音Z探测器

规格参数:

型号 Park NX20
扫描仪 XY扫描仪 100um*100um(可选10um*10um或50um*50um)
Z扫描仪 15um(可选30um)
形貌噪音 <0.03nm(标准值0.02nm)
光学 物镜 10X(20X可选)
电子 ADC 18个频道 4个高速ADC频道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置传感器
DAC 12个频道 2个高速DAC频道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器
样品台 XY平台行程 150mm x 150mm;200mm X 200mm
Z平台行程 25mm
聚焦平台行程 15mm
样品尺寸 高达150mm或直径200mm最多厚20mm
物理信息 外形尺寸 820mm(长)X920mm(宽)X1280mm(高)

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