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Park NX-Hivac
Park NX-Hivac是一种尖端的高真空原子力显微镜,旨在为在高度掺杂的半导体进行精确的失效分析。Park NX-Hivac是一台真正的高真空原子力显微镜,利用Park的招牌技术,并提供可重复且容易实现的高清晰度和低噪声的测量,使其成为提高实验室效率和准确性的完美选择。
Park NX-Hivac

特点:

先进的StepScan自动化扫描和更快的扫描激光校准技术

多样品模块

Park招牌技术便捷的针尖替换

大型真空腔300mm X 420mm X 320mm

供超长观测距离的同轴光学设备

用于提高灵敏度的高真空SSRM

规格参数: 

型号 Park NX-Hivac
扫描仪 XY扫描仪 50um*50um(可选100um*100um)
Z扫描仪 15um
形貌噪音 <0.03nm(标准值0.02nm)
光学 物镜 10X 500万像素CCD
电子 ADC 18个频道 4个高速ADC频道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置传感器
DAC 12个频道 2个高速DAC频道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器
样品台 XY平台行程 22mm x 22mm
样品尺寸 高达50mmX50mm最多厚20mm
软件 SmartScan Park原子力显微镜操作软件
XEI 原子显微镜数据分析软件
HIVAC Manager 自动真空控制软件
高真空 真空高 通常小于1 X 10-5
抽气速率 5分钟之内可达到10-5
物理信息 真空室(内) 300mm(长)X420mm(宽)X320mm(高)
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